文献
J-GLOBAL ID:200902232519605333
整理番号:05A0749650
RFスパッタリングによるB-N-C系非晶質析出薄膜の構造解析と化学分析
Structural and chemical analysis of amorphous B-N-C thin films deposited by RF sputtering
著者 (3件):
ESSAFTI A.
(Lab. de Physique des Solides et des Couches Minces, Dep. de Physique, Fac. des Sciences Semlalia, Univ. Cadi Ayyad ...)
,
ECH-CHAMIKH E.
(Lab. de Physique des Solides et des Couches Minces, Dep. de Physique, Fac. des Sciences Semlalia, Univ. Cadi Ayyad ...)
,
FIERRO J.l.g.
(Instituto de catalisis y petroleoquimica, campus de cantoblanco, 28049 Madrid, ESP)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
14
号:
10
ページ:
1663-1668
発行年:
2005年10月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)