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文献
J-GLOBAL ID：200902232521405449
整理番号：06A0405359
コンフォーマルDLCによって被覆されたMEMSの性能結果
Performance results of MEMS coated with a conformal DLC
SMALLWOOD Steven A.
(Universal Technol. Corp., Dayton, OH 45432-2600, USA)
,
EAPEN Kalathil C.
(Univ. of Dayton Res. Inst., Dayton, OH 45469-0168, USA)
,
PATTON Steven T.
(Univ. of Dayton Res. Inst., Dayton, OH 45469-0168, USA)
,
ZABINSKI Jeffrey S.
(Air Force Res. Lab. (AFRL/MLBT), Bldg. 654, 2941 Hobson Way, Rm. 136, Wright Patterson Air Force Base, OH 45433-7750 ...)
資料名：
Wear
(Wear)
巻： 260 号： 11-12 ページ： 1179-1189 発行年： 2006年06月30日
JST資料番号： E0377A ISSN： 0043-1648 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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