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文献
J-GLOBAL ID：200902232911440172
整理番号：05A0994962
Townsend誘電バリア放電による薄膜の大気圧プラズマ蒸着
Atmospheric pressure plasma deposition of thin films by Townsend dielectric barrier discharge
MASSINES Francoise
(Lab. de Genie Electrique de Toulouse, CNRS, UPS, 118 route de Narbonne, 31062 Toulouse cedex 4, FRA)
,
GHERARDI Nicolas
(Lab. de Genie Electrique de Toulouse, CNRS, UPS, 118 route de Narbonne, 31062 Toulouse cedex 4, FRA)
,
FORNELLI Antonella
(Lab. de Genie Electrique de Toulouse, CNRS, UPS, 118 route de Narbonne, 31062 Toulouse cedex 4, FRA)
,
MARTIN Steve
(Lab. de Genie Electrique de Toulouse, CNRS, UPS, 118 route de Narbonne, 31062 Toulouse cedex 4, FRA)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 200 号： 5-6 ページ： 1855-1861 発行年： 2005年11月21日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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