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文献
J-GLOBAL ID：200902232942494653
整理番号：06A0168375
プラズマ増強化学蒸着によりアース電極上に堆積したダイヤモンド状炭素膜の非常に小さい誘電定数
Very Low Dielectric Constants of Diamond-Like Carbon Films Deposited on Ground Electrode by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
YOKOTA Katsuhiro
(Kansai Univ., Osaka, JPN)
,
MIYOSHI Yuuya
(Kansai Univ., Osaka, JPN)
,
SAOYAMA Masaki
(Kansai Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 45 号： 2A ページ： 860-867 発行年： 2006年02月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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