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文献
J-GLOBAL ID：200902233139412571
整理番号：09A0713531
マイクロ機械共振器のQ値の評価方法
Evaluation Method of the Quality Factor of Micromechanical Resonators Using Electron Beams
ASHIBA Hiroki
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
WARISAWA Shin’ichi
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
ISHIHARA Sunao
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 48 号： 6,Issue 2 ページ： 06FG08.1-06FG08.5 発行年： 2009年06月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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