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文献
J-GLOBAL ID：200902233256238930
整理番号：04A0418457
LSIチィップにおけるデバイス特性変化の集積デバイスマトリックスアレイを用いた解析とキャラクタリゼーション
Analysis and Characterization of Device Variations in an LSI Chip Using an Integrated Device Matrix Array
OHKAWA S
(Semiconductor Technol. Acad. Res. Center (STARC), Yokohama, JPN)
,
AOKI M
(Tokyo Univ. Sci., Nagano, JPN)
,
MASUDA H
(Semiconductor Technol. Acad. Res. Center (STARC), Yokohama, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 17 号： 2 ページ： 155-165 発行年： 2004年05月
JST資料番号： T0521A ISSN： 0894-6507 CODEN： ITSMED 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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