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文献
J-GLOBAL ID：200902233281548839
整理番号：09A0781294
再加工可能なUV硬化樹脂 インプリントリソグラフィーへの応用
A UV curable resin with reworkable properties: application to imprint lithography
MATSUKAWA Daisaku
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
WAKAYAMA Hiroyuki
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
MITSUKURA Kazuyuki
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
OKAMURA Haruyuki
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
HIRAI Yoshihiko
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
,
SHIRAI Masamitsu
(Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Journal of Materials Chemistry
(Journal of Materials Chemistry)
巻： 19 号： 24 ページ： 4085-4087 発行年： 2009年06月28日
JST資料番号： W0204A ISSN： 0959-9428 CODEN： JMACEP 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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