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文献
J-GLOBAL ID：200902233934803589
整理番号：08A0992446
終端状態制御によるガルバノスキャナのナノスケールサーボ制御
Nanoscale Servo Control for Galvano Scanner using Final-State Control
城所隆弘
(宇都宮大)
,
平田光男
(宇都宮大)
,
上田伸治
(キヤノン)
資料名：
電気学会産業計測制御研究会資料
(Papers of Technical Meeting on Industrial Instrumentation and Control and Mechatronics Control, IEE Japan)
巻： IIC-08 号： 161-170 ページ： 43-48 発行年： 2008年09月12日
JST資料番号： X0577A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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