文献
J-GLOBAL ID:200902233934803589
整理番号:08A0992446
終端状態制御によるガルバノスキャナのナノスケールサーボ制御
Nanoscale Servo Control for Galvano Scanner using Final-State Control
著者 (3件):
城所隆弘
(宇都宮大)
,
平田光男
(宇都宮大)
,
上田伸治
(キヤノン)
資料名:
電気学会産業計測制御研究会資料
(Papers of Technical Meeting on Industrial Instrumentation and Control and Mechatronics Control, IEE Japan)
巻:
IIC-08
号:
161-170
ページ:
43-48
発行年:
2008年09月12日
JST資料番号:
X0577A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)