文献
J-GLOBAL ID:200902234457937442
整理番号:09A0812739
電気特性を改善するための高圧酸化によるGe/GeO2界面制御
Ge/GeO2 Interface Control with High-Pressure Oxidation for Improving Electrical Characteristics
著者 (11件):
LEE Choong Hyun
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
TABATA Toshiyuki
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
TABATA Toshiyuki
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
NISHIMURA Tomonori
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
NISHIMURA Tomonori
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
NAGASHIO Kosuke
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
NAGASHIO Kosuke
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
KITA Koji
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
KITA Koji
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
,
TORIUMI Akira
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
TORIUMI Akira
(JST-CREST, Tokyo, JPN)
資料名:
Applied Physics Express
(Applied Physics Express)
巻:
2
号:
7
ページ:
071404.1-071404.3
発行年:
2009年07月25日
JST資料番号:
F0599C
ISSN:
1882-0778
CODEN:
APEPC4
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)