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文献

J-GLOBAL ID：200902234933694910 整理番号：05A0610034

触覚感知のためのPDMSにおける300ナノメータ厚さの片持梁

300NM-THICK CANTILEVER IN PDMS FOR TACTILE SENSING

著者 (4件)：

NODA Kentaro

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

HOSHINO Kazunori

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

MATSUMOTO Kiyoshi

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

SHIMOYAMA Isao

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

資料名：

Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)

巻： 18th ページ： 283-286 発行年： 2005年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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