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文献
J-GLOBAL ID：200902235136923144
整理番号：09A0236030
ナノパルスプラズマCVDにより生成した非晶質窒化ほう素膜のトライボロジー特性
Tribological Properties of Amorphous Boron Nitride Films Prepared by Nanopulse Plasma CVD
SAITO Masanori
(Tokyo Inst. of Technol., Dept. of Mechanical Sci. and Eng.)
,
SAITO Masanori
(JSPS Res. Fellow)
,
YASUHARA Toshiyuki
(Tokyo Inst. of Technol., Dept. of Mechanical Sci. and Eng.)
,
MURAKAMI Hiroya
(Tokyo Inst. of Technol., Dept. of Mechanical Sci. and Eng.)
,
OHTAKE Naoto
(Nagoya Univ., Dept. of Materials, Physics and Energy Eng.)
資料名：
Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering (Web)
(Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering (Web))
巻： 3 号： 2 ページ： 217-226 (J-STAGE) 発行年： 2009年
JST資料番号： U0026A ISSN： 1880-9871 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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