文献
J-GLOBAL ID:200902235391736862
整理番号:05A0079313
極薄ゲートSiO2膜Poly-Si CMOSトランジスタのホットキャリア劣化
Hot Carrier Degradation in Low Temperature Poly-Si CMOS TFT with Ultra-Thin gate SiO2 film
著者 (8件):
宮下誠
(奈良先端科学技術大学院大)
,
菅原祐太
(奈良先端科学技術大学院大)
,
北島浩司
(奈良先端科学技術大学院大)
,
畑山智亮
(奈良先端科学技術大学院大)
,
矢野裕司
(奈良先端科学技術大学院大)
,
浦岡行治
(奈良先端科学技術大学院大)
,
冬木隆
(奈良先端科学技術大学院大)
,
芹川正
(東大 先端科学技術研究セ)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
104
号:
510(SDM2004 192-208)
ページ:
59-64
発行年:
2004年12月09日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)