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J-GLOBAL ID：200902235409599779 整理番号：05A1019156

ナノスケール機械加工とアルカリエッチングを併用した単結晶シリコン表面のマイクロファブリケーション(第2報)-マスキング作用の加工条件依存性と3次元微細構造への応用-

Micro-Fabrication of Single Crystal Silicon by Using Combination Technique of Nano-scale Machining and Alkaline Etching (2nd Report)-Dependence of Masking Effect on Machining Conditions and Application to 3 Dimensional Microstructure-

著者 (7件)：

川堰宣隆

(富山大大学院理工学研究科)

LIAO Guoxin

(千葉大大学院自然科学研究科)

森田昇

(富山大工)

山田茂

(富山大工)

高野登

(富山大工)

大山達雄

(富山大工)

芦田極

(産業技術総合研)

資料名：

精密工学会誌 (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻： 70 号： 12 ページ： 1544-1548 発行年： 2004年12月05日
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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