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文献
J-GLOBAL ID：200902235667173514
整理番号：03A0250892
リソグラフィ用EUV(極端紫外)光源研究の現状と将来展望 5. 放電生成プラズマ光源 5.2 実用化のための課題と将来展望
Discharge Produced Plasma Light Sources. Technical Issues Regarding the Practical Application and Future Prospects of a Discharge Produced Plasma Sources for Lithography.
佐藤弘人
(技術研究組合 極端紫外線露光システム技術開発機構 平塚研開セ)
資料名：
プラズマ・核融合学会誌
(Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 79 号： 3 ページ： 252-256 発行年： 2003年03月25日
JST資料番号： G0114A ISSN： 0918-7928 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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