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文献
J-GLOBAL ID：200902236071230479
整理番号：07A0033091
石英ガラスとほうけい酸ガラスの熱インプリント用のガラス状カーボンモールドの集束イオンビームミリング加工に関する研究
A study on focused ion beam milling of glassy carbon molds for the thermal imprinting of quartz and borosilicate glasses
YOUN Sung Won
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
TAKAHASHI Masaharu
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
GOTO Hiroshi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
MAEDA Ryutaro
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 16 号： 12 ページ： 2576-2584 発行年： 2006年12月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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