文献
J-GLOBAL ID:200902236105523586
整理番号:07A0385519
シリコンの格子摩擦応力の温度依存性を考慮したULSIセル中の転位蓄積の結晶塑性解析
Crystal Plasticity Analysis of Dislocation Accumulation in ULSI Cells with Consideration of Temperature Dependence of the Lattice Friction Stress for Silicon
著者 (4件):
SATO Michihiro
(Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN)
,
OHASHI Tetsuya
(Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN)
,
MARUIZUMI Takuya
(Musashi Inst. Technol., Tokyo, JPN)
,
KITAGAWA Isao
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
資料名:
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻:
340/341
号:
Pt.1
ページ:
199-204
発行年:
2007年
JST資料番号:
D0744C
ISSN:
1013-9826
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)