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文献
J-GLOBAL ID：200902236289422779
整理番号：04A0442463
誘電定数の小さいフッ素化無定形炭素膜の応用のためのC6F6/C5F8のプラズマ共重合とin situフーリエ変換赤外分光法を用いたその気相診断
Plasma Copolymerization of C6F6/C5F8 for Application of Low-Dielectric-Constant Fluorinated Amorphous Carbon Films and Its Gas-Phase Diagnostics Using In Situ Fourier Transform Infrared Spectroscopy
SHIRAFUJI T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TSUCHINO A
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
NAKAMURA T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TACHIBANA K
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43 号： 5A ページ： 2697-2703 発行年： 2004年05月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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