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文献
J-GLOBAL ID：200902236311893110
整理番号：05A1024674
Vertical Comb型静電駆動ミラーの安定化と光ファイバ可変減衰器への応用
A New Design for Improving Stability of Electrostatic Vertical Comb Mirrors and Its Application to Fiber Optic Variable Attenuators
小尾浩士
(光伸光学工業)
,
山野井俊雄
(光伸光学工業)
,
藤田博之
(東大 生産技研)
,
年吉洋
(東大 生産技研)
資料名：
レーザー研究
(レーザー学会誌)
巻： 33 号： 11 ページ： 766-771 発行年： 2005年11月15日
JST資料番号： X0335A ISSN： 0387-0200 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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