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文献
J-GLOBAL ID：200902236603893943
整理番号：09A1072520
FinFET特性の可変性原因の包括解析
Comprehensive Analysis of Variability Sources of FinFET Characteristics
MATSUKAWA T.
(AIST, Ibaraki, JPN)
,
O’UCHI S.
(AIST, Ibaraki, JPN)
,
ENDO K.
(AIST, Ibaraki, JPN)
,
ISHIKAWA Y.
(AIST, Ibaraki, JPN)
,
YAMAUCHI H.
(AIST, Ibaraki, JPN)
,
LIU Y.X.
(AIST, Ibaraki, JPN)
,
TSUKADA J.
(AIST, Ibaraki, JPN)
,
SAKAMOTO K.
(AIST, Ibaraki, JPN)
,
MASAHARA M.
(AIST, Ibaraki, JPN)
資料名：
Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology
(Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology)
巻： 2009 ページ： 98-99 発行年： 2009年
JST資料番号： A0035B ISSN： 0743-1562 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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