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文献
J-GLOBAL ID：200902237004502029
整理番号：04A0370780
原子間力顕微鏡により作製したナノメータトレンチ
Nanometer Trench Fabricated by Atomic Force Microscopy
YUKIYA T
(Tokyo Polytechnic Univ., Kanagawa, JPN)
,
AIZAWA K
(Tokyo Polytechnic Univ., Kanagawa, JPN)
,
FUJIHASHI C
(Tokyo Polytechnic Univ., Kanagawa, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43 号： 4A ページ： 1660-1665 発行年： 2004年04月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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