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文献
J-GLOBAL ID：200902237139639679
整理番号：07A1130529
電子ビームによるパターン形成プロセスによる強誘電体微細構造の形成
Fabrication of Ferroelectric Microstructures by Electron-Beam-Induced Patterning Process
FUJII Tadashi
(Toyama Prefectural Univ. Imizu, Toyama, JPN)
,
NAKATA Kazuhisa
(Toyama Prefectural Univ. Imizu, Toyama, JPN)
,
ADACHI Masatoshi
(Toyama Prefectural Univ. Imizu, Toyama, JPN)
資料名：
Ferroelectrics
(Ferroelectrics)
巻： 356 ページ： 545-549,563-564 発行年： 2007年10月
JST資料番号： D0777A ISSN： 0015-0193 CODEN： FEROA8 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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