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文献
J-GLOBAL ID:200902237139639679   整理番号:07A1130529

電子ビームによるパターン形成プロセスによる強誘電体微細構造の形成

Fabrication of Ferroelectric Microstructures by Electron-Beam-Induced Patterning Process
著者 (3件):
FUJII Tadashi
(Toyama Prefectural Univ. Imizu, Toyama, JPN)
NAKATA Kazuhisa
(Toyama Prefectural Univ. Imizu, Toyama, JPN)
ADACHI Masatoshi
(Toyama Prefectural Univ. Imizu, Toyama, JPN)

資料名:
Ferroelectrics  (Ferroelectrics)

巻: 356  ページ: 545-549,563-564  発行年: 2007年10月 
JST資料番号: D0777A  ISSN: 0015-0193  CODEN: FEROA8  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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