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文献
J-GLOBAL ID：200902237342024787
整理番号：05A0644049
プラズマ蒸着シリコン炭素合金の構造と光学的性質 分光偏光解析法を用いたSi-C結合構造に関する洞察
Structural and optical investigation of plasma deposited silicon carbon alloys: Insights on Si-C bond configuration using spectroscopic ellipsometry
LOSURDO Maria
(Universita di Bari, Bari, ITA)
,
GIANGREGORIO Maria
(Universita di Bari, Bari, ITA)
,
CAPEZZUTO Pio
(Universita di Bari, Bari, ITA)
,
BRUNO Giovanni
(Universita di Bari, Bari, ITA)
,
GIORGIS Fabrizio
(Polytechnic of Torino, Torino, ITA)
,
GIORGIS Fabrizio
(Materials and Microsystems Lab. (χLab), Torino, ITA)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 97 号： 10,Pt.1 ページ： 103504.1-103504.6 発行年： 2005年05月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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