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文献
J-GLOBAL ID：200902237575777297
整理番号：05A0342816
デュアルイオンビームスパッタリングによるSiナノ結晶形成への補助イオンビーム照射効果
The influence of secondary ion beam irradiation on the formation of Si nanocrystals during dual ion beam sputtering
KIM Jae Kwon
(Dong-A Univ., Pusan, KOR)
,
CHA Kyu Man
(Dong-A Univ., Pusan, KOR)
,
KANG Jung Hyun
(Dong-A Univ., Pusan, KOR)
,
KIM Yong
(Dong-A Univ., Pusan, KOR)
,
YI Jae-Yel
(Dong-A Univ., Pusan, KOR)
,
CHUNG Tae Hun
(Dong-A Univ., Pusan, KOR)
,
BARK Hong Jun
(Dong-A Univ., Pusan, KOR)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 478 号： 1/2 ページ： 116-120 発行年： 2005年05月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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