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J-GLOBAL ID：200902237755728693 整理番号：07A1217395

超精密加工用3軸制御ファストツールサーボの開発(第1報)-ファストツールサーボユニットの試作と基本性能の評価-

Development of a Three Axis controlled Fast Tool Servo for Ultra Precision Machining (1st Report)-Development of 3-axis FTS Unit and evaluation of its characteristics-

著者 (4件)：

和田紀彦

(松下電器産業)

高橋正行

(松下電器産業)

森脇俊道

(摂南大工)

中本圭一

(神戸大大学院)

資料名：

精密工学会誌(CD-ROM) (精密工学会誌論文集)

巻： 73 号： 12 ページ： 1345-1349 発行年： 2007年12月05日
JST資料番号： F0268B ISSN： 1348-8716 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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