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文献
J-GLOBAL ID：200902237814720391
整理番号：09A0087164
高周波プラズマCVDで合成したBCN膜の評価
Characterization of BCN films synthesized by radiofrequency plasma enhanced chemical vapor deposition
ABDUL MANNAN Md.
(Dep. of Chemistry and Applied Chemistry, Fac. of Sci. and Engineering, Saga Univ., 1 Honjo, Saga 840-8502, JPN)
,
NAGANO Masamitsu
(Dep. of Chemistry and Applied Chemistry, Fac. of Sci. and Engineering, Saga Univ., 1 Honjo, Saga 840-8502, JPN)
,
KIDA Tetsuya
(Dep. of Chemistry and Applied Chemistry, Fac. of Sci. and Engineering, Saga Univ., 1 Honjo, Saga 840-8502, JPN)
,
HIRAO Norie
(Synchrotron Radiation Res. Unit, Quantum Beam Sci. Directorate, Japan Atomic Energy Agency, Tokai-mura, Ibaraki ...)
,
BABA Yuji
(Synchrotron Radiation Res. Unit, Quantum Beam Sci. Directorate, Japan Atomic Energy Agency, Tokai-mura, Ibaraki ...)
資料名：
Journal of Physics and Chemistry of Solids
(Journal of Physics and Chemistry of Solids)
巻： 70 号： 1 ページ： 20-25 発行年： 2009年01月
JST資料番号： C0202A ISSN： 0022-3697 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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