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文献
J-GLOBAL ID：200902237843743899
整理番号：07A0948967
扇形圧電振動子駆動薄型マイクロ超音波モータ
市原誉識
(岡山大)
,
松永佑介
(岡山大)
,
神田岳文
(岡山大)
,
鈴森康一
(岡山大)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2007 号： 秋季(CD-ROM) ページ： J47 発行年： 2007年09月03日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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