文献
J-GLOBAL ID:200902238567568685
整理番号:05A0693467
バルク弾性波共振器用の亜鉛酸化薄膜の蒸着
Deposition of zinc oxide thin films for application in bulk acoustic wave resonator
著者 (5件):
FERBLANTIER G.
(CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA)
,
MAILLY F.
(CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA)
,
AL ASMAR R.
(CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA)
,
FOUCARAN A.
(CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA)
,
PASCAL-DELANNOY F.
(CEM2 - Univ. Montpellier II - UMR CNRS 5507, Univ. Montpellier II, Place E. Bataillon, 34095 Montpellier, FRA)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
122
号:
2
ページ:
184-188
発行年:
2005年08月26日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)