文献
J-GLOBAL ID:200902239315527214
整理番号:03A0868676
可動サンプリングオリフィスを用いた誘導結合プラズマの空間分解質量分析サンプリング
Spatially resolved mass spectrometric sampling of inductively coupled plasmas using a movable sampling orifice
著者 (5件):
LI X
(Univ. Maryland, Maryland)
,
OEHRLEIN G S
(Univ. Maryland, Maryland)
,
SCHAEPKENS M
(PSCT, New York)
,
ELLEFSON R E
(Inficon Inc., New York)
,
FREES L C
(Inficon Inc., New York)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
21
号:
6
ページ:
1971-1977
発行年:
2003年11月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)