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文献
J-GLOBAL ID：200902239361922390
整理番号：08A1120190
集束イオンビームにより作製した電子光学系輸帯瞳の高速散乱電子抑制化
Formation of High-energy Electron Scattering Suppressible Annular Pupils for Electron Optics by Focused Ion Beam Technique
松谷貴臣
(近畿大)
,
田屋昌樹
(大阪電通大)
,
生田孝
(大阪電通大)
,
藤村哲也
(大阪産業大)
,
乾裕彦
(大阪産業大)
,
田中武雄
(大阪産業大)
,
志水一平
(大阪産業振興機構)
,
木村吉秀
(大阪大 大学院工学研究科)
,
高井義造
(大阪大 大学院工学研究科)
,
川崎忠寛
(名古屋大)
,
市橋幹雄
(名古屋大)
,
大江俊美
(名城大)
資料名：
プラズマ応用と複合機能材料
(Conference Journal of the IAPS Meeting)
巻： 17 ページ： 81-82 発行年： 2008年03月
JST資料番号： L6242A ISSN： 1340-9557 CODEN： POFZFU 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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