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文献
J-GLOBAL ID：200902239764556849
整理番号：06A0509953
窒素を添加したマイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンドの高速ホモエピタキシャル成長
High rate homoepitaxial growth of diamond by microwave plasma CVD with nitrogen addition
MOKUNO Y.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
CHAYAHARA A.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
SODA Y.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
YAMADA H.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
HORINO Y.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
FUJIMORI N.
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 15 号： 4-8 ページ： 455-459 発行年： 2006年04月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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