前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902240113993084
整理番号：08A0224966
Z-軸振動とX,Y双方向傾動運動機能を備えた電磁駆動光学MEMSミラーの開発および低コヒーレント光学干渉計への応用
Development of an Electromagnetically Driven Optical MEMS Mirror with Functions of Z-Axis Vibration and X, Y Bi-Directional Tilting, and an Application to Low Coherent Optical Interferometer
WATANABE Yoshiyuki
(Yamagata Res. Inst. of Technol., Yamagata)
,
ABE Yutaka
(Yamagata Res. Inst. of Technol., Yamagata)
,
IWAMATSU Shinnosuke
(Yamagata Res. Inst. of Technol., Yamagata)
,
MITSUI Toshiaki
(Yamagata Res. Inst. of Technol., Yamagata)
,
TAKAHASHI Yoshiyuki
(Yamagata Res. Inst. of Technol., Yamagata)
,
SATO Toshiyuki
(Yamagata Res. Inst. of Technol., Yamagata)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 128 号： 3 ページ： 70-74 発行年： 2008年03月01日
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。