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文献
J-GLOBAL ID：200902240970627637
整理番号：05A0214918
窒化ニオブと窒化タンタルの化学蒸着(CVD)の分子状前駆体
Molecular precursors for the CVD of niobium and tantalum nitride
BLEAU J E
(Univ. Coll. London, London, GBR)
,
CARMALT C J
(Univ. Coll. London, London, GBR)
,
O’NEILL S A
(Univ. Coll. London, London, GBR)
,
PARKIN I P
(Univ. Coll. London, London, GBR)
,
WHITE A J P
(Univ. Coll. London, London, GBR)
,
WILLIAMS D J
(Univ. Coll. London, London, GBR)
資料名：
Polyhedron
(Polyhedron)
巻： 24 号： 3 ページ： 463-468 発行年： 2005年02月17日
JST資料番号： C0301B ISSN： 0277-5387 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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