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文献
J-GLOBAL ID：200902241170510975
整理番号：07A0819898
MEMS用ナノエネルギー材料:展望
Nanoenergetic Materials for MEMS: A Review
ROSSI Carole
(Lab. Analyse et d’Architecture des Systemes (LAAS), Centre National de la Rech. Scientifique, Toulouse, FRA)
,
ZHANG Kaili
(Lab. Analyse et d’Architecture des Systemes (LAAS), Centre National de la Rech. Scientifique, Toulouse, FRA)
,
ESTEVE Daniel
(Lab. Analyse et d’Architecture des Systemes (LAAS), Centre National de la Rech. Scientifique, Toulouse, FRA)
,
ALPHONSE Pierre
(Centre Interuniversitaire de Rech. et d’Ingenierie des Materiaux (CIRIMAT), Toulouse, FRA)
,
TAILHADES Philippe
(Centre Interuniversitaire de Rech. et d’Ingenierie des Materiaux (CIRIMAT), Toulouse, FRA)
,
VAHLAS Constantin
(Centre Interuniversitaire de Rech. et d’Ingenierie des Materiaux (CIRIMAT), Toulouse, FRA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 16 号： 4 ページ： 919-931 発行年： 2007年08月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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