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J-GLOBAL ID：200902242014483824 整理番号：05A0079307

PRSによるHigh-kゲート絶縁膜中の固定電荷の評価

Characterization of Fixed Charge in High-k Dielectric Thin Film by Photoreflectance

著者 (6件)：

寒川雅之

(大阪大)

金島岳

(大阪大)

吉田真人

(大阪大)

多田泰三

(大阪大)

奥山雅則

(大阪大)

藤本晶

(和歌山工高専)

資料名：

電子情報通信学会技術研究報告 (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))

巻： 104 号： 510(SDM2004 192-208) ページ： 25-30 発行年： 2004年12月09日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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