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文献
J-GLOBAL ID：200902242553315455
整理番号：05A0542185
反応性マグネトロンスパッタリングによるふっ素化非晶質炭素膜の合成とキャラクタリゼーション
Synthesis and characterization of fluorinated amorphous carbon films by reactive magnetron sputtering
ISHIHARA M.
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
SUZUKI M.
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
WATANABE T.
(Mitsubishi Heavy Ind., LTD., Kanagawa, JPN)
,
NAKAMURA T.
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
TANAKA A.
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
KOGA Y.
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 14 号： 3/7 ページ： 989-993 発行年： 2005年03月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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