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文献
J-GLOBAL ID:200902242600050708   整理番号:06A0962121

応力平衡層を用いたゾル-ゲル法によるウエハスケールのジルコニウム酸チタン酸鉛膜の作製

Wafer scale lead zirconate titanate film preparation by sol-gel method using stress balance layer
著者 (5件):
LU Jian
(MEMS and Packaging Res. Group, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-2-1 Namiki, Tsukuba ...)
KOBAYASHI Takeshi
(MEMS and Packaging Res. Group, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-2-1 Namiki, Tsukuba ...)
YI ZHANG
(MEMS and Packaging Res. Group, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-2-1 Namiki, Tsukuba ...)
MAEDA Ryutaro
(MEMS and Packaging Res. Group, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-2-1 Namiki, Tsukuba ...)
MIHARA Takashi
(Future Creation Lab., Olympus Corp., Shinjuku Monolith, 3-1 Nishi-Shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo, 163-0914, JPN)

資料名:
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

巻: 515  号:ページ: 1506-1510  発行年: 2006年12月05日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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