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文献
J-GLOBAL ID：200902242600050708
整理番号：06A0962121
応力平衡層を用いたゾル-ゲル法によるウエハスケールのジルコニウム酸チタン酸鉛膜の作製
Wafer scale lead zirconate titanate film preparation by sol-gel method using stress balance layer
LU Jian
(MEMS and Packaging Res. Group, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-2-1 Namiki, Tsukuba ...)
,
KOBAYASHI Takeshi
(MEMS and Packaging Res. Group, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-2-1 Namiki, Tsukuba ...)
,
YI ZHANG
(MEMS and Packaging Res. Group, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-2-1 Namiki, Tsukuba ...)
,
MAEDA Ryutaro
(MEMS and Packaging Res. Group, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-2-1 Namiki, Tsukuba ...)
,
MIHARA Takashi
(Future Creation Lab., Olympus Corp., Shinjuku Monolith, 3-1 Nishi-Shinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo, 163-0914, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 515 号： 4 ページ： 1506-1510 発行年： 2006年12月05日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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