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文献
J-GLOBAL ID：200902243027076310
整理番号：07A0807144
シクロペンタジエニルジルコニウム前駆体を用いたZrO2の液体噴射MOCVDおよびALD
Liquid injection MOCVD and ALD of ZrO2 using Zr-cyclopentadienyl precursors
GASKELL Jeffrey M.
(Dep. of Chemistry, Univ. of Liverpool, Liverpool, L69 3ZD, GBR)
,
JONES Anthony C.
(Dep. of Chemistry, Univ. of Liverpool, Liverpool, L69 3ZD, GBR)
,
JONES Anthony C.
(Epichem Ltd., Power Road, Bromborough, Wirral, Merseyside, CH62 3QF, GBR)
,
BLACK Kate
(Dep. of Chemistry, Univ. of Liverpool, Liverpool, L69 3ZD, GBR)
,
CHALKER Paul R.
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Univ. of Liverpool, Liverpool, L69 3BX, GBR)
,
LEESE Thomas
(Epichem Ltd., Power Road, Bromborough, Wirral, Merseyside, CH62 3QF, GBR)
,
KINGSLEY Andrew
(Epichem Ltd., Power Road, Bromborough, Wirral, Merseyside, CH62 3QF, GBR)
,
ODEDRA Rajesh
(Epichem Ltd., Power Road, Bromborough, Wirral, Merseyside, CH62 3QF, GBR)
,
HEYS Peter N.
(Epichem Ltd., Power Road, Bromborough, Wirral, Merseyside, CH62 3QF, GBR)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 201 号： 22-23 ページ： 9095-9098 発行年： 2007年09月25日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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