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文献
J-GLOBAL ID：200902243068218375
整理番号：05A0636400
LERとLWRの計測のための光学的Fourier変換光波散乱計測
Optical Fourier Transform Scatterometry for LER and LWR metrology
BOHER P.
(ELDIM, Herouville St Clair, FRA)
,
PETIT J.
(ELDIM, Herouville St Clair, FRA)
,
LEROUX T.
(ELDIM, Herouville St Clair, FRA)
,
FOUCHER J.
(CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
,
DESIERES Y.
(CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
,
HAZART J.
(CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
,
CHATON P.
(CEA Grenoble, Grenoble, FRA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 5752 号： Pt.1 ページ： 192-203 発行年： 2005年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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