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文献
J-GLOBAL ID：200902243268641310
整理番号：06A0557395
分光偏光解析法によるマスクのかすみの測定
Mask Haze Measurement by Spectroscopic Ellipsometry
KIM Young-Hoon
(Hanyang Univ., Kyunggi-Do, KOR)
,
KIM Sung-Hyuck
(Samsung Electronics Co., Gyeonggi-Do, KOR)
,
CHO Han-Koo
(Samsung Electronics Co., Gyeonggi-Do, KOR)
,
AN Ilsin
(Hanyang Univ., Kyunggi-Do, KOR)
,
OH Hye-Keun
(Hanyang Univ., Kyunggi-Do, KOR)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 45 号： 6B ページ： 5388-5390 発行年： 2006年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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