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文献
J-GLOBAL ID：200902243326026206
整理番号：03A0263814
2段階イミド化によるポリイミドのイオンビーム誘起ポジティブイメージング
Ion beam-induced positive imaging of polyimide via two step imidization.
MAEKAWA Y
(Japan Atomic Energy Res. Inst.,Takasaki, JPN)
,
SUZUKI Y
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol.,Koganei, JPN)
,
YOSHIDA M
(Japan Atomic Energy Res. Inst.,Takasaki, JPN)
,
MAEYAMA K
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol.,Koganei, JPN)
,
YONEZAWA N
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol.,Koganei, JPN)
資料名：
Polymer
(Polymer)
巻： 44 号： 8 ページ： 2307-2312 発行年： 2003年04月
JST資料番号： D0472B ISSN： 0032-3861 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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