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文献
J-GLOBAL ID：200902243473528233
整理番号：04A0120691
AlN膜の極性,ミクロ構造と形態に及ぼす窒化の効果
Effect of nitridation on polarity, microstructure, and morphology of AlN films
WU Y
(Univ. California, California)
,
HANLON A
(Univ. California, California)
,
KAEDING J F
(Univ. California, California)
,
SHARMA R
(Univ. California, California)
,
FINI P T
(Univ. California, California)
,
NAKAMURA S
(Univ. California, California)
,
SPECK J S
(Univ. California, California)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 84 号： 6 ページ： 912-914 発行年： 2004年02月09日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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