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文献
J-GLOBAL ID：200902243671102306
整理番号：06A0576757
高輝度の無電極Z-ピンチ型EUV光源の測定,検査およびレジストの現像への応用
Application of a high-brightness electrodeless Z-pinch EUV source for metrology, inspection, and resist development.
HORNE Stephen F.
(Energetiq Technol. Inc.)
,
BESEN Matthew M.
(Energetiq Technol. Inc.)
,
SMITH Donald K.
(Energetiq Technol. Inc.)
,
BLACKBOROW Paul A.
(Energetiq Technol. Inc.)
,
D’AGOSTINO Robert
(Energetiq Technol. Inc.)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 6151 号： Pt.1 ページ： 61510P.1-61510P.10 発行年： 2006年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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