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文献
J-GLOBAL ID:200902243996529748   整理番号:05A0277076

ヒドロキシ置換型芳香族ケトンを化学改質剤やパターン形成剤に利用した新規感光性ZrO2ゲル膜合成法

Preparation of New Photosensitive ZrO2 Gel Films Using Hydroxyl-Substituted Aromatic Ketones as Chemical Modification Reagents and their Patterning
著者 (3件):
NOMA N
(Kinki Univ., Osaka, JPN)
YAMAZAKI S
(Kinki Univ., Osaka, JPN)
TOHGE N
(Kinki Univ., Osaka, JPN)

資料名:
Journal of Sol-Gel Science and Technology  (Journal of Sol-Gel Science and Technology)

巻: 31  号: 1/3  ページ: 253-256  発行年: 2004年07月 
JST資料番号: W0812A  ISSN: 0928-0707  CODEN: JSGTEC  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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