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文献
J-GLOBAL ID：200902244157666434
整理番号：08A0919157
ガス支援集束電子ビームおよびイオンビーム加工と製作
Gas-assisted focused electron beam and ion beam processing and fabrication
UTKE Ivo
(EMPA, Swiss Federal Inst. of Materials Testing and Res., Feuerwerkerstrasse 39, CH-3602 Thun, CHE)
,
HOFFMANN Patrik
(Advanced Photonics Lab., Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, CH-1015 Lausanne, CHE)
,
MELNGAILIS John
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, Inst. for Res. in Electronics and Applied Physics, Univ. of Maryland ...)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 26 号： 4 ページ： 1197 発行年： 2008年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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