文献
J-GLOBAL ID:200902244209824688
整理番号:06A0530863
光感受性チタン錯体からの二酸化チタンのポジ及びネガ型フォトリソグラフィー蒸着
Positive and Negative Photolithographic Deposition of Titanium Dioxide from Photosensitive Titanium Complexes
著者 (2件):
ZHANG Xin
(Simon Fraser Univ., British Columbia, CAN)
,
HILL Ross H.
(Simon Fraser Univ., British Columbia, CAN)
資料名:
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻:
19
号:
4
ページ:
477-486
発行年:
2006年
JST資料番号:
L0202A
ISSN:
0914-9244
CODEN:
JSTEEW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)