文献
J-GLOBAL ID:200902244878044396
整理番号:04A0524184
非対称高周波放電におけるシース電圧降下の形成
Synthesis of sheath voltage drops in asymmetric radio-frequency discharges
著者 (3件):
YONEMURA S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
NANBU K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
IWATA N
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
96
号:
1
ページ:
127-132
発行年:
2004年07月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)