文献
J-GLOBAL ID:200902245115686482
整理番号:05A0719752
スパイラル微小コイルの製作に対する三次元LIGAプロセスの開発
Development of Three Dimensional LIGA Process to Fabricate Spiral Microcoil
著者 (7件):
MEKARU Harutaka
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
KUSUMI Shinji
(SUSUMU Co., Ltd., Kyoto, JPN)
,
SATO Noriaki
(Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN)
,
SHIMIZU Masami
(Juken Kogyo Co., Ltd., Aichi, JPN)
,
YAMASHITA Michiru
(Hyogo Prefectural Inst. Technol., Kobe, JPN)
,
SHIMADA Osamu
(SUSUMU Co., Ltd., Kyoto, JPN)
,
HATTORI Tadashi
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
44
号:
7B
ページ:
5749-5754
発行年:
2005年07月30日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)