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J-GLOBAL ID：200902245763104545 整理番号：09A0189335

アモルファス炭素および窒化炭素膜の液相堆積

Liquid Phase Deposition of Amorphous Carbon and Carbon Nitride Films

著者 (4件)：

KIYOTA Hideo

(Dep. of Mechanical Systems Engineering, School of Industrial Engineering, Tokai Univ., JPN)

GAMO Hidenori

(Technical Res. Inst., Toppan Printing Co., Ltd., JPN)

NISHITANI-GAMO Mikka

(Dep. of Applied Chemistry and Sensor Photonics Res. Center, Toyo Univ., JPN)

ANDO Toshihiro

(National Inst. for Materials Sci., JPN)

資料名：

e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web) (e-Journal of Surface Science and Nanotechnology (Web))

巻： 7 ページ： 102-106 (J-STAGE) 発行年： 2009年
JST資料番号： U0016A ISSN： 1348-0391 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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