文献
J-GLOBAL ID:200902246269362090
整理番号:03A0566722
ラジオ周波数GDOES 薄膜の深さプロファイリング分析のための強力な技法
Radiofrequency GDOES: a powerful technique for depth profiling analysis of thin films
著者 (4件):
SHIMIZU K
(Keio Univ., Yokohama, JPN)
,
HABAZAKI H
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
SKELDON P
(Univ. Manchester Inst. Sci. and Technol., Manchester, GBR)
,
THOMPSON G E
(Univ. Manchester Inst. Sci. and Technol., Manchester, GBR)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
35
号:
7
ページ:
564-574,566(1)(2)
発行年:
2003年07月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)