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文献
J-GLOBAL ID：200902246920967800
整理番号：07A0410105
プラズマ支援化学気相蒸着により接地した電極上に堆積した水素化ダイヤモンド状カーボン膜における電子捕獲の中性化と放電
Neutralization and Discharge of Electron Traps in Hydrogenated Diamond-Like Carbon Films Deposited on Ground Electrode by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
YOKOTA Katsuhiro
(Kansai Univ., Osaka, JPN)
,
NAKATANI Takahiro
(Kansai Univ., Osaka, JPN)
,
MIYASHITA Fumiyoshi
(Kansai Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 46 号： 4A ページ： 1568-1570 発行年： 2007年04月15日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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